目前廣泛應用于各種射頻電路中的貼片電容因其尺寸和電容量均較小，沒有比較合適的射頻段測試儀器。我們應用微波網(wǎng)絡(luò)理論分析后，自行設(shè)計共面波導作為測試夾具，利用射頻矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀在高頻至射頻波段（300M～3000MHz）對射頻陶瓷貼片電容（尺寸約2.00mm×1.26mm×0.67mm，電容量0.5～7.5pF）進行了掃頻測量。
網(wǎng)絡(luò)分析儀測量并結(jié)合一定的校準方法（TRL）可算出電容的散射參數(shù)S21o由微波網(wǎng)絡(luò)理論可知：
貼片電容
取Z的虛部（電抗）X，運用實驗數(shù)據(jù)處理中的最小二乘法并由（1）式知，X的擬合模型為L-1/C。通過一系列頻點？i的測試計算數(shù)據(jù)Xi（i=1，2，。，n），尋找最優(yōu)的參數(shù)L和C使得：
貼片電容
采用掃頻法測量阻抗值并用最小二乘法擬合計算，不僅可以得出電容值，還可以得出等效串聯(lián)電感和電阻（由于生產(chǎn)廠家沒有給出相應的標稱值進行比較，這里不再列出）。
應注意掃頻帶寬不宜過大，否則會因貼片電容電容器內(nèi)電介質(zhì)的色散而使電容值有一定的變化，通常可在3G的頻寬內(nèi)測量。
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